晶圓IV/CV直流測試包括：同軸（coaxial）-直流參數測量，漏電低至PA級別、三軸（triaxial）-直流參數測量，漏電低至FA級別/低噪聲，IV、CV、P-IV測試廣泛用于測量半導體參數,尤其是晶圓級MOSFET結構等。此外利用IV、CV、P-IV測量還可以對其它類型的半導體器件和工藝進行特征分析,包括雙極結型晶體管BJT、JFET器件,光伏電池、MEMS器件、有機TFT顯示器、光電二極管、碳納米管和多種其它半導體器件。這類測量的基本特征非常適用于各種應用,提高工藝和器件的性能,檢測工藝參數和失效分析機制等。