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      4. 測試技術

        IV/CV 直流測試

        晶圓IV/CV測試解決方案

        1.1.1.技術背景

        晶圓IV/CV直流測試包括:同軸(coaxial)-直流參數測量,漏電低至PA級別、三軸(triaxial)-直流參數測量,漏電低至FA級別/低噪聲,IV、CV、P-IV測試廣泛用于測量半導體參數,尤其是晶圓級MOSFET結構等。此外利用IV、CV、P-IV測量還可以對其它類型的半導體器件和工藝進行特征分析,包括雙極結型晶體管BJT、JFET器件,光伏電池、MEMS器件、有機TFT顯示器、光電二極管、碳納米管和多種其它半導體器件。這類測量的基本特征非常適用于各種應用,提高工藝和器件的性能,檢測工藝參數和失效分析機制等。

        1.1.2.需求與挑戰

        近年我國對于半導體產業的重視和大力度的資源投入,其中大學實驗室的硬件設施升級改造更新則更是重點投入之一,但因大學教育在資源投入配比上更多出于成本考慮,因此我們既要在預算有限的條件下,不僅要保證設備測試測量的高精度標準,同時也要考慮產品今后的重復利用率,避免資源浪費。SEMISHARE通過多年在大學院校積累的市場及合作經驗,總結教育實驗的探針臺設備應有如下指標:

        合理性

        ● 基于大學實驗室環境要求,設備在保證高精度測試的前提下,節省設備占有空間
        ● 不降底專業測試標準質量前提下,提供更具有價格競爭力的探針臺設備

        專業性

        ● 操作更簡單方便
        ● 最大限度減少使用操作培訓工作量
        ● 結構穩定,測試精度高
        ● 可快速獲取測量數據

        靈活性

        ● 可模塊定制,針對多種的應用實現簡易的重新配置和升級
        ● 適應性強,當需求提高和增加時,可重新進行設備升級和功能擴展

        1.1.3.解決方案
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