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      4. 測試技術

        RF射頻測試

        RF射頻測試解決方案

        1.1.1.技術

        RF射頻測試包括67GHz射頻測試、毫米波(mmW)-70GHz到Sub-THz和負載牽引測試、太赫茲(THz)和負載牽引測試。近幾年來隨著射頻半導體行業的快速發展,射頻微波技術廣泛應用于無線蜂窩通信、衛星通信、GPS定位導航、汽車雷達、智能電子收費系統以及軍事通信等領域,多個城市也已開啟5G網絡持續覆蓋。晶圓級射頻及毫米波(RF & mmW)特性描述是射頻及毫米波積體電路開發、設計除錯,以及高效能半導體元件建模的關鍵部分。


        1.1.2.需求與挑戰


        射頻量測需求主要涵蓋 RF 功率及 RF 雜訊特性描述之大小訊號量測、S 參數、訊號源、負載拉移阻抗匹配等 。由于晶圓級 RF 測試儀器(如:向量網路分析儀、升頻器、阻抗調諧器、藕合器、Bias-Ts 及許多其他系統元件)之架設整合具高複雜性及需求特殊性。因此這些應用皆挑戰探針臺系統的機械穩定性、最短傳輸路徑、量測最佳方向性、長時間于不同類型金屬待測物上重複且高一致性的點測能力、以及是否可精準校正至待測物端之能力。


        1.1.3.解決方案
        • 設備配置

          >SS-100探針座More

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        • 測試對象

          對微波器件進行S參數測試、波量測試、比值測試,包括幅度、相位、延時等測試。

        • 測量精度

          1. 卡盤尺寸不小于6英寸,X-Y-Z移動行程不小于150mm?150mm?10mm, 兼容手動和半自動控制方式,對應精度0.1μm?0.1μm?0.1μm ,Theta軸電動旋轉±5°,精度0.001°。2.卡盤采用獨立吸附孔和多圈吸附環固定樣品,均獨立控制,獨立吸附孔直徑可以選擇500 微米以下,處最大尺寸外能夠兼容使用50.8mm?50.8mm,50mm?60mm,60mm?70mm陶瓷方片,以及單個小尺寸樣品(小尺寸樣品尺寸大于吸附孔直徑)。同時配備吸盤夾具,夾具上有定位標示滿足三種尺寸有孔的陶瓷方片吸附測試。

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