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        LCVD面板激光修復機

        產品概要

        LCVD面板激光修復機主要是為LCD顯示屏的工藝不良及缺陷而設計的自動化修復設備。設備以SEMISHARE領先的機器視覺系統為核心,能為LCD成品\半成品的顯示屏缺陷提供高精度修復且低成本的解決方案,更大程度的提升企業經營效率。

        基本信息

        產品型號 LCVD-G6 | LCVD-G8.5 工作環境 開放式
        電力需求 380V,50Hz,3Phase,approx.40AMax / 380V,50Hz, 3Phase, approx.60A Max 操控方式 全自動
        產品尺寸 2,850mm(寬)x2,500mm(長)x2,500?mm(高) 設備重量 約7500KG

        應用方向

        TFT-LCD和OLED Array Panel線路開路和短路的修復,Mask的缺陷修復

        技術特點

        產品特點

        ●高倍率光學影像識別,自動校準聚焦 ●激光系統可視化操作,大大提高修復效率 ●直線電機結構,1um激光精度,高速靜音 ●自動AOI定位 ,自動上下片 ●豐富的軟件測試功能,機械系統高精度校準 ●修復形狀可編輯,可多工位設計 ●領先的內部防震系統裝置,運行更穩定 ●電學屏蔽系統,屏蔽光線和電磁干擾

        LCVD激光修復機
        型號 LCVD-G6 LCVD-G8.5
        外形 2,850mm()x2,500mm()x2,500 mm() 4,000mm(寬)x3,500mm(長)x2,500 mm(高)
        重量 7500公斤 10500公斤
        電力需求 380V,50Hz, 3Phase, approx. 40A Max 380V,50Hz, 3Phase, approx.60A Max
        可修復產品尺寸 長寬≤1500 *1850 mm(W x D) , 厚度≤3mm 長寬≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm
        修復能力 沉積材質 W,Cr,Mo,Al 激光特性 激光系統 DPSS激光切割系統
        沉積線路速度 5~10um/s(厚度5000 ?) CW激光沉積系統
        單處缺陷修復時長 定位后,修復單處缺陷時間在5s左右 能量調節精度 0-1000 steps
        工藝參數 軟件可以添加任意組工藝參數 0-100%
        Cutting寬度 2um50um可調 Slit 窗口調節大小 0~2.4mm
        沉積寬度 3um30um可調 Slit 窗口控制精度 1um
        沉積邊緣精度 +-0.5um 激光能量校準方式 自動校準
        沉積厚度 2000 ? ~15000?可調 校準時間 3mins
        沉積線路的電阻值 <65歐姆 (寬度5um, 長度50um,厚度5000 ?) 激光能量校準精度 優于2%
        沉積穩定性 1.清洗機清洗次數>10 times 激光波長 Cut Laser :IR 1064nm,GRN 532nm,UV 266nm
        2.棉簽蘸丙酮擦拭>500 CVD CW laser :NUV/UV
        3.強酸堿測試>1H 脈寬 < 12 ns
        3.毛刷擦拭>1H 光斑尺度 2.0~ @50X object 1064nm (在標準mask上測試)
        4.超聲波1MHZ>1H 掃描面能量均勻性 優于5% IR
        平臺功能 Gantry結構 龍門式 激光壽命 Cut Laser:10億次激發
        X-Y-Z運動行程 LCVD-G6 1500 *1850*58mm(X-Y-Z) CVD CW laser: 8000小時
        LCVD-G8.5 2500 *2200*58mm(X-Y-Z) 修復工作模式 Scan掃描式和 Step模式
        X-Y運動速度 0~400mm/s可調 掃描路徑 可任意定義路徑
        精度(最小移動量) 0.1um 控制 工作模式 自動修復,實現數據的自動導入和輸出,聯機通訊手動或者半自動修復
        Z 運動速度 0~2mm/s可調
        精度(最小移動量) 0.1um 上下片 機械手或者流水線
        重復定位精度 +-5um CIM系統
        修復對位精度 0.1um 減震 主動式減震系統,能夠實現50X 物鏡下畫面不抖動
        光學特性 光路系統倍率: 50X~ 1000X
        5X ,10X ,20X , 50X NIR, 50X UV,50X NUV Objects 工業PC 23寸顯示器&電腦:i7 處理器,1TB硬盤2塊(其中一塊為備份硬盤),8G內存,1G獨立顯卡,DVD-ROM
        光學分辨率 0.7um
        物鏡切換速度 0.2~0.7s 通訊接口 RS232/EtherCAT/GPIB
        切換鏡頭偏差 小于3um 安全 整機帶屏蔽罩,操作人員在屏蔽罩外操作
        聚焦 激光自動聚焦 緊急開關EMO
        相機 200萬像素 限位sensor,運動平臺和激光系統限位互鎖
        照明 平臺有下光源,并且能夠上下光源切換,屏蔽罩內安裝照明,照度達到1000lux以上。 Interlock報警,自動關閉系統(軟件設置為可選)
        應用方向 TFT-LCD OLED Array Panel 布線開路和短路的修復,Mask 的缺陷修復
        特點:
        穩定的修復結果 功能豐富的軟件
        超高的修復精度 可以編輯修復形狀
        0.1um精度的直線電機平臺 自動AOI定位
        極小的損傷 可做多工位設計
        1um的激光精度 自動上下片
          暫無數據
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