<noframes id="bugla"><del id="bugla"></del></noframes>
    
    
      1. 我們的網站使用由我們和第三方提供的 cookies。部分cookies是網站運營所必需的,而其他 cookies您可以隨時調整,特別是那些有助于我們了解網站性能、為您提供社交媒體功能、通過相關內容為您帶來更好的體驗和廣告宣傳的cookies...。

        我接受
        聯系我們
        郵件留言
        中文
      2. 全球-簡體中文
      3. Global-English
      4. 測試技術

        半自動探針臺測量技術

        半自動探針臺測量技術

        技術背景

        隨著中國半導體技術的迅速發展,多個12寸晶圓廠以及實驗室的建立,逐步出現對于12寸晶圓檢測的Probe的需求提高,目前12寸晶圓的Prober多數都依賴于進口設備(日,美),呈現需大于求的狀況,因此國內迫切需要研發中國自主型的12寸晶圓的檢測類設備,以解決目前僅依賴于國外進口的困局。

        面臨挑戰

        我國現有的半導體芯片測試探針臺,長時間工作后容易晃動,操作探針時,因探針臺固定不穩定,容易出現測試失誤,給使用者帶來不便。


        技術概要

        技術名稱:一種半自動晶圓探針臺測試測量技術(ThreeInoneTM技術

        專利申請號:201910551072.8

        ThreeInoneTM技術在于提供一種高穩定性能的探針臺及半自動晶圓測試設備。通過探針臺低重心的穩定結構,解決了晶圓測試中設備容易晃動并影響測試精度的問題,最終保證探針臺高穩定性能的工作,使得測試達到高精準度。

        設備同時還裝配有行業領先的3ZOOMTM顯微鏡。用以兼容6寸、8寸和12寸晶圓的測試,在圖像中能觀察到3ZOOMTM的成像效果,無需進行鏡頭和倍率的切換,同時3ZOOMTM的呈現滿足晶圓以及實驗室中絕大多數的樣品,兼容性高,同時也提高了各個測試的效率。


        技術說明

        ThreeInoneTM技術提供的一種用于晶圓測試的探針臺,所述探針臺包括第一運動機構、第二運動機構和第三運動機構的底面積依次遞減,并依序向上堆疊;所述探針臺通過所述第一運動機構、第二運動機構和第三運動機構控制所述晶圓沿第一方向、第二方向和第三方向往復運動及以所述第三方向為軸線旋轉運動。

        進一步地,所述第一運動機構包括鑄件底板和置于所述鑄件底板上沿第一方向設置的多條第一導軌,所述第一導軌為剛性多孔結構。

        進一步地,所述第一方向、第二方向和第三方向互相垂直,所述第一方向與所述第二方向與水平面平行,所述第三方向與水平面垂直。

        進一步地,所述第一運動機構還包括第一電機,所述第一電機驅動所述第一導軌上的部件沿第一方向運動。

        進一步地,所述第二運動機構包括底板以及置于底板上沿第二方向設置的第二導軌和第二電機,所述第二電機驅動所述第二導軌上的部件沿第二方向運動。

        進一步地,所述第三運動機構包括沿第三方向設置的第三電機、導向軸、頂板和旋轉電機,所述第三電機驅動固定于所述導向軸上的部件沿第三方向運動,所述旋轉電機驅動頂板以第三方向為軸線旋轉。

        進一步地,所述探針臺還包括殼體,所述殼體內置所述第一運動機構、第二運動機構和第三運動機構,所述殼體為干燥的密封結構,且內外表面均可導電。

        ThreeInoneTM技術還提供一種半自動晶圓測試設備,包括所述的探針臺和位于所述探針臺上方的顯微鏡;所述顯微鏡同時提供三種倍率成像,用以兼容6寸、8寸和12寸晶圓的測試。

        進一步地,所述顯微鏡包括殼體、位于殼體外底面物鏡、內置于殼體高度不一的三組相機組件及位于殼體內底面的反射鏡,所述反射鏡折射所述三組相機組件的光路并匯總于所述物鏡。


        ? 2020 深圳市森美協爾科技有限公司 All Rights Reserved.粵ICP備19119103號
        彩神iv首页