6月27日，全球最大的國際半導體展SEMICON China 2020在上海新國際博覽中心如期盛大開幕。

SEMISAHRE攜旗下三款SCG系列高低溫真空探針臺、SH系列高配置分析探針臺、SX系列半自動量產型探針臺精彩亮相展會，為大家現場分享半導體的先進測試技術與產品應用，一起體驗高端科技帶來的震撼體驗。

展位現場吸引了眾多專業觀眾前來咨詢體驗，大家對SEMISAHRE的探針臺測試設備充滿了興趣和期待，并給予了高度的認可與進一步的合作意向。

SEMISHARE全球先進的測試技術  助力芯片產業加速發展

■ SCG系列高低溫真空探針臺

產品亮點：

?溫控范圍：77K-770K,溫度穩定性優于±0.1K ，溫控器分辨率為0.1℃，傳感器任一區段誤差為0.5%；

?X-Y-Z三方向移動，行程均為25mm，定位精度10μm；

?探針漂移量<±60nm/30mins；

?光學顯微20倍目鏡及0.8-5倍物鏡變焦倍率，16X-100X放大倍率；

?漏率優于1.3x10-10Pa.m3/s 極限真空到10-4Pa（當使用分子泵時）；

?漏電精度達100FA；

?液氮罐可調節壓力，制冷系統調節精密針閥，自動控制流量，自動控溫；

?空氣彈簧式支撐架防震系統，有效避免細微低頻率頻帶振動帶來的測試影響；

應用方向：高低溫真空環境下的芯片測試、LD/LED/PD測試、光纖光譜特性測試、材料/器件的IV/CV特性測試、霍爾測試、電磁輸運特性、高頻特性測試等

客戶對象：科研教育院校/研究所公司實驗室

■ SH系列高配置分析探針臺

產品亮點：

?大手柄同軸驅動CHUCK，移動精度高；

?顯微鏡X-Y無后座力移動；

?20~4000X光學顯微鏡放大，快速傾仰30度 ；

?漏電精度達100FA（配置屏蔽箱時）；

?可使用探針卡測試；

?針座平臺可快速升降和微調，快速芯片測試；

應用方向：晶圓、LD/LED/PD測試、 PCB/封裝器件測試、芯片內部線路/電極/PAD測試、射頻、高頻、高壓/大電流測試等

客戶對象：科研教育院校/研究所公司實驗室

■ SX系列半自動量產型探針臺

產品亮點：

?CHUCK機械運動系統精度與速度行業最高：運行速度>70mm/s，精度≤1μm；

?Chuck手動上片及校準，清針模塊；

?可-60℃～300℃變溫，溫度精度和穩定性均優于0.1℃；

?三倍率同焦顯微鏡系統及側邊顯微鏡，光學放大倍率為：0.6*5X；2.5*5X；9*5X；

?超高測試精度及效率Index time≤500ms;

?低噪聲≤50dB；

?自動Wafer align，自動die size測量，自動wafer mapping；

?一鍵式自適應四軸Chuck精度校準，支持微米級pad點測；

?自動溫度補償功能，便捷的系統集成功能；

應用方向：各類器件、Wafer等進行I-V、C-V、光信號、RF、1/f噪聲等特性分析、射頻測試、大功率晶圓測試等

客戶對象：科研教育院校/研究所實驗室/芯片設計公司

以技術創享未來，助力芯片產業加速發展，森美協爾將一如既往，立足中國，面向全球，持續為更多的合作伙伴提供先進的晶圓探針臺測試測量設備與技術解決方案，成為更多行業客戶值得信賴的合作伙伴。