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        新聞資訊

        國產化半自動探針臺能達到的精度是多少?

        發布時間:2021-09-01來源: semishare

        據SEMI數據統計,2020年及2021 年,全球半導體測試設備市場規?;驅⒎謩e達到52.2億美元及56.1億美元。隨著國內半導體技術的發展,多個晶圓廠及實驗室的建立,國內探針臺市場規模2019年約為10.25億元,2022年將增長到15.69億元。

        隨著半導體行業的迅速發展,半導體產品的加工面積成倍縮小,復雜程度與日俱增,生產半導體產品所需的制造設備需要綜合運用機械、光學、物理、化學等學科技術,具有技術壁壘高、制造難度大及研發投入高等特點。探針臺屬于重要的半導體測試裝備,在整個半導體產業的多個環節起著重要作用,是晶圓廠和元器件封測企業的重要設備之一。隨著自動化技術的飛速發展,市場對自動化探針臺需求旺盛。自動化探針臺搭配測試機能夠對出廠晶圓片的電氣參數、光學參數進行測試,根據測試結果評定上一道工序的工藝質量,并指導下一道工序。

        從全球市場看,半導體探針臺設備行業集中度較高,目前主要由國外廠商主導,行業呈現較高壟斷的競爭格局。鑒于自動化探針臺是光、機、電高度一體化的產品,國內在這一方向研究幾乎為零,市場主要被一些國外的大公司壟斷。SEMISHARE2017年投產X系列半自動探針臺并成功推向市場,成功填補國內該研發生產領域的空白。

        SEMISHARE(深圳市森美協爾科技有限公司)研發的X系列半自動探針臺是高精度探針臺并已成功實現量產和獲得國內龍頭企業批量訂單。其技術指標可以達到國際領先水平,部分參數甚至優于國際一線品牌,深圳市計量質量檢測研究院日前已對半自動晶圓探針臺X系列完成檢測并出具相應檢測報告。


        01

        X系列探針臺Chuck X Y Z Theta四軸

        1、基板采用鑄件為基準進行設計,使運動的穩定性得到提升,底板的重量同樣在隔震性能上得到提高。

        2、運動系統采用的是日系高剛性、高精密的導軌和絲桿;反饋檢測系統采用的是0.1μm分辨率光柵尺配合進口運動控制卡與電機形成整個閉環的反饋檢測,以保證實現高精度高溫度性的運動系統。

        3、整個四維運動設計成低重心的緊湊結構,保證其速率能到達70mm/s,并能提高運動過程中的加速。

        4、關鍵零件用導電的表面處理,保證每個位置能進行接地保護。

        02

        高性能密閉微暗室有效屏蔽EMI

        腔體采用導電的處理工藝,確保了各零件之間的導通狀態從而達到全屏蔽的效果,降低系統噪聲,有效屏蔽外界干擾,并提供低漏電流保護,為微弱電信號測試提供了最佳的測試環境;同時也注意零件配合以及裝配的同時,保證內部的密封性。對于一些特殊的器件/晶圓需要在高低溫的情況進行環境的模擬測試,有效地避免了空氣中的水分在樣品上結露或者結霜的存在,通過氣流的特性,填充滿密封腔體內,使腔體里內的氣體露點進行降低直至到一定的露點。

        03

        行業領先的3ZOOM?成像技術

        內置SEMISHARE專利顯微鏡3 ZOOM多視野、三倍率同焦光路系統,光學120X–2000X變倍放大,大小多視場同時顯示,可使點針便捷操作,實現高穩定性、高清晰度的精準定位圖像輸出和高精度的測量和動態監控。

        04

        自主研發軟件集成系統,兼容性更強

        ●支持半自動控制(可手動測試、自動測試)

        ●自動Wafer校準、自動Wafer mapping、自動Die size測量、自動Align、自動測試數據可遠程訪問

        ●一鍵自動校準RF探針模塊,自動清針功能

        ●一鍵式自適應四軸Chuck精度校準,支持微米級Pad點測

        ●可支持單點測試或連續測試

        ● 強大的數據儲存能力以及數據處理能力

        ●可對測試結果進行BIN值劃分,判斷器件NG

        ●多系統集成功能,可獨立升級操作系統、應用系統和器件測試系統

        05

        營銷網絡覆蓋全國,快速響應客戶需求

        SEMISHARE先后在深圳、香港、北京、上海、西安等城市設立了營銷服務網絡,并通過專業FAE技術團隊,7*24h響應客戶。

        現場支持:

        1)深圳市內客戶,售后服務人員將在4小時內趕到客戶現場

        2)廣東省內客戶,售后服務人員將在24小時之內趕到客戶現場

        3)廣東省外客戶,售后服務人員將在48小時之內趕到客戶現場

        與跨國公司相比,SEMISHARE更具本土化企業的服務優勢,能夠直達終端客戶。覆蓋全網的技術、售后和銷售團隊,可負責終端客戶拓展、客戶培訓、產品需求定制、售后維修等事宜,能夠更高效地服務客戶。我們關注市場,更關注每一位客戶的需求,力求保障客戶的時間和投入產出最大化。



        (圖為客戶訂購半自動晶圓探針臺,裝機、調試、驗收3天內完成)

        未來隨著國內半導體產業進入密集建設期,國內企業在國家政策和市場需求推動下加大研發,我國有望加快集成電路國產化集成,逐步實現從低端向高端替代,從而減少對集成電路進口,打破國外高依賴的局面。

        SEMISHARE從創立之初,就已將“中國芯·騰飛夢-助力中國制造自主領先的芯片,推動全球半導體行業的整體發展”作為使命,根植于企業的DNA,堅持自主技術的研發創新,旨在促進半導體測試設備國產化的發展。未來將不忘初心,奮力前行,半導體國產化不再是理想化的構想,而是我們這代人可以預見的未來!

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